當導流板固定在槽體內時，此遮蔽部優(yōu)選為位于排水孔的正上方,導流板的分流孔可將槽體內往排水孔的沖洗流體先行予以分流，排水槽模具且大部分的排水孔也被分流板的遮蔽部所遮住。如此一來，可將排水的大噴流流場轉變成數(shù)個小噴流流場，而使快速排水清洗槽內的流場更為均勻。因此，不僅可有效消除晶圓粘貼效應，改善晶圓振動現(xiàn)象，更可使排水更為順暢，進而提升排水速度。

U型槽模具是根據(jù)對U型槽預制塊的大小進行定制，一般混凝土U型槽模具的使用以及維護都是有規(guī)律可循的，廠家在總結這類模板使用經驗的時候，會按照詳細的步驟進行。排水U型槽模具主要是以人工預制為主，因為機器壓制的U型槽表面粗糙，混凝土凝固程度較低，使用年限短，按照人工預制生產的U型槽模具，不論是制作的混凝土U型槽還是實際使用都達到了不錯的效果

可加水速度,提出一種快速排水槽模具，可用以清洗晶圓，此快速排水清洗槽至少包括槽體，其中此槽體包括一個排水孔位于槽體的底部；以及一個使槽體的排出噴流場轉變成均勻流場的導流板，固定在排水孔上方的槽體上。依照本實用新型一優(yōu)選實施例，上述的導流板至少包括一個分流板
因此可將槽體內的大噴流場轉變成數(shù)個小噴流場。是提供一種具有導流板的快速排水清洗槽，可改變排水的流場，而將排出噴流場轉變成均勻流場。因此，不僅可改善晶圓振動現(xiàn)象，更可有效消除卵形排水槽模具效應。是在提供一種快速排水槽模具，可將槽體內往排水孔的流體予以分流，使排水更為滑順

U型槽模具硬度不足的原因和預防措施如下：爐或進入冷卻槽方法不當?shù)仍蛟斐桑瑧撔拚に嚋囟?，檢修校核控溫系統(tǒng)，裝爐時，工件間隔合理擺放均勻，分散入槽，禁止堆積或成捆入槽冷卻。淬火溫度過高，這是由工藝設置溫度不當或控溫系統(tǒng)誤差造成，應當修正工藝溫度，檢修校核控溫系統(tǒng)。過回火，這是由回火溫度設置過高、控溫系統(tǒng)故障誤差或爐溫過高時入爐造成，應當修正工藝溫度，檢修校核控溫系統(tǒng)，不高于設置爐溫裝入。
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